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製品情報

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管状炉・温度コントローラ

品名/シリーズ 常用温度※1  炉内径(mm) 適応炉芯管径
ARF-Kシリーズ 900℃ Φ60 〜Φ40
ARF-KCシリーズ 900℃ Φ60 〜Φ50
ARF1ゾーン シリーズ 1050℃ Φ80 〜Φ60
ARF3ゾーン シリーズ 1150℃ Φ80 〜Φ60
Φ110 〜Φ80
Φ150 〜Φ110
HT1500シリーズ 1400℃ --- 〜Φ100
HMF-1700シリーズ 1700℃ --- ---

※1:GAS導入量、炉芯管材質などの使用条件により
   設定温度まで昇温できない場合もございます。

チューブ炉温度コントローラ

 チューブ炉専用温度コントローラ
 タッチパネル式温度コントローラ

取扱い装置

横設置タイプ
 小型雰囲気炉 HWS
 横型雰囲気炉 HWM
 横型真空置換炉 HWMV
 横型高温真空置換炉 HWHV
 
炉芯管回転タイプ
 回転式雰囲気炉 HWR
 
縦設置タイプ
 小型縦型雰囲気炉 HDS
 縦型雰囲気炉 HDM
 縦型真空置換炉 HDMV
 縦型高温真空置換炉 HDHV
 
熱CVD装置 HCVD
高温マッフル炉 HMF

雰囲気部

 空冷式 炉芯管接続フランジ
 フランジ用サポート台
 炉芯管(高純度石英管、セラミック管)
 試料ボード(サンプルボート)
 周辺配管材
 真空配管材

架台部

 アルミフレーム架台
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