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雰囲気部
炉芯管接続フランジ |
フランジ用サポート台 |
炉芯管(高純度石英管) |
炉芯管(アルミナ・ムライト管) |
試料ボード(サンプルボート) |
周辺配管材 |
真空配管材 |
管状炉・温度コントローラ
品名/シリーズ | 常用温度※1 | 炉内径(mm) | 適応炉芯管径 |
ARF-Kシリーズ | 900℃ | Φ60 | 〜Φ40 |
ARF-KCシリーズ | 900℃ | Φ60 | 〜Φ50 |
ARF1ゾーンシリーズ | 1050℃ | Φ80 | 〜Φ60 |
ARF3ゾーン | 1150℃ | Φ80 | 〜Φ60 |
Φ110 | 〜Φ80 | ||
Φ150 | 〜Φ110 | ||
HT1500シリーズ | 1400℃ | --- | 〜Φ100 |
温度コントローラ
チューブ炉専用温度コントローラ |
取扱い装置
横設置タイプ |
小型雰囲気炉 HWS |
横型雰囲気炉 HWM |
横型真空置換炉 HWMV |
横型高温真空置換炉 HWHV |
炉芯管回転タイプ |
回転式雰囲気炉 HWR |
縦設置タイプ |
小型縦型雰囲気炉 HDS |
縦型雰囲気炉 HDM |
縦型真空置換炉 HDMV |
縦型高温真空置換炉 HDHV |
熱CVD装置 HCVD |
高温マッフル炉 HMF |
架台部
アルミフレーム架台 |