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熱CVD装置のページです。
熱CVD装置
熱CVD装置 型式：HCVD400-40 / 使用温度：800℃
セット内容：管状炉、ｺﾝﾄﾛｰﾗ、石英炉芯管、ﾌﾗﾝｼﾞ、ｻﾎﾟｰﾄ台、架台
※架台形状及びｻｲｽﾞ、ｶﾞｽ種、流量計、ｶﾞｽ配管､ﾊﾞﾙﾌﾞ部材はお打合せ。
| 主な仕様 | |
| 加熱部 | 炉体外形：260×400L / 炉内寸法：φ80×350L ﾋｰﾀー容量：1480W 常用温度：1050℃ |
| 温度制御部 | ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ式ﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑ温度ｺﾝﾄﾛｰﾗ ﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑ：10ﾊﾟﾀｰﾝ/9ステップ､電源100V15A 型式：HK10P-115K､電源100V/15A ※ELB、過熱防止、冷却ﾌｧﾝ、ON/OFF ｽｲｯﾁ付 |
| 雰囲気部 | 炉芯管：透明石英管（ＧＥ214）Φ36×φ40×700Ｌ ※本装置の炉芯管内径はφ36mmです、ご購入前に試料サイズを確認してください。 フランジ：φ40用炉芯管接続フランジ（材質：本体/SUS304､Ｏﾘﾝｸﾞ/ﾊﾞｲﾄﾝ） ガス導入配管接続口径：1/4inch(Φ6.35)用喰いこみ継手 |
| 価格 | お問い合せ下さい |
特注雰囲気炉の見積依頼について
雰囲気炉などの特注実験装置は必ずお打合せが必要となります。
実験用途、要求仕様、配管イメージなどご確認の上、ご相談ください。
・お問合せから納品までの流れ
.要求仕様をお知らせください。
1.実験用途、期待される付加機能、配管イメージ
2.使用温度・試料形状・炉心管の素材、サイズ
3.炉心管内雰囲気（真空、導入ガス、流量）
4.温度制御方法（定置制御式・プログラム制御・その他必要と思われる機能）
5.設置環境（設置場所・有効寸法・設備電源・排気設備・搬入経路など）
6.希望される検収条件・提出図書
●その他ご不明な点がございましたらお気軽にお問合せ下さい。
